簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Jyh-Chiang Jiang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="碳化矽"


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    三氯矽甲烷/氫氣-化學氣相沉積當量組成碳化矽薄膜的反應動力模型化
    • 化學工程系 /111/ 碩士
    • 研究生： 劉浩辰   指導教授： 洪儒生
    • 本論文中針對三氯矽甲烷(MTS)為原料在氫氣氣氛下化學氣相沉積β相碳化矽薄膜的反應機制進行量化模型之探討。首先以一簡化的模型，即僅考慮MTS氣相解離生成一中間產物並貢獻長膜的逐次反應型式，對熱壁式水…
    • 點閱：261  下載：0 
    • 全文公開日期 2025/08/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/08/29 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/08/29 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    以化學氣相沉積法於矽晶基材上的碳化矽及鍺異質磊晶成長之研究
    • 化學工程系 /97/ 博士
    • 研究生： 劉智生   指導教授： 洪儒生
    • 本論文的主題分為四部分: (1)以SiH4、C2H2和H2為反應物的低壓化學氣相沉積系統探討Si(111)上碳化緩衝層表面的石墨化及其對成長3C-SiC(111)磊晶膜的影響之研究; (2)以SiH…
    • 點閱：402  下載：13 
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